激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器?？梢栽诤銣?，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。

　　激光干涉儀的原理是建立在塞曼效應、牽引效應和多普勒效應的基礎之上的。在全內腔He-Ne激光器上加約0.03T的軸向磁場，由于塞曼效應和牽引效應，發出一束含有兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光，它們的頻率差大約是1.5MHz左右。這束光經1/4波片之后成為兩個互相垂直的線偏振光，再經平行光管準直和擴束。從平行光管出來的這束光經過析光鏡反射出一小部分作為參考光束通過45°放置的檢偏器。并由馬呂斯定律可知，兩個垂直方向的線偏振光在45°方向上投影，形成新的線偏振光并產生拍頻。這個拍頻頻率恰好等于激光器所發出的兩個光頻的差值即（f1-f2），約為1.5MHz。經光電元件接受進入前置放大器和計算機。

　　激光干涉儀的*性：

　　1、精度高

　　激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。

　　2、應用范圍廣

　　激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。

　　3、環境適應力強

　　即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點，激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機，也可以在普通的車間內為大型的機床的刻度進行標定。

　　4、實時動態測速高

　　現代的激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態測量。

　　激光干涉儀的發明使激光干涉儀最終擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業生產和科學研究中。

　　因此，對于激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解，以致于改進其性能，使其在計量方面有著更加廣泛的應用，具有重大意義。