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白光干涉儀和共聚焦顯微鏡的區別
2023-02-22
對于現代愈發復雜的工藝檢測,諸如半導體、電子封裝及光學加工等產業中,由于表面微觀輪廓結構的準確性決定著產品的功能和效能,所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件(諸如半導體硅片及器件、薄膜厚度、光學器件表面、其他材料分析及微表面研究),都需要測量斷差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、體積、線寬等。同為微納米級表面光學分析儀器,白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式、高速度測量、高穩定性的特點,都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,適用范圍廣,可測多種類型樣品的表面微細結構。但白光...
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白光干涉儀的測量原理
2023-02-21
一、通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。二、原理過程:(1)利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關的其他物理量。(2)測量精度決定于測量光程差的精度,干涉條紋每移動一個條紋間距,光程差就改變一個波長(~10-7米),所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程...
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共聚焦顯微鏡各部分名稱和功能
2023-02-15
以共聚焦技術為原理,用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的VT6000共聚焦顯微鏡,可對材料樣品的表面形貌直接進行成像,橫向分辨率可達1nm,Z軸分辨率可達0.5nm。不僅可對樣品表面形貌進行測量,提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,還提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括依據標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等...
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基于共聚焦顯微技術的顯微鏡和熒光顯微鏡的區別
2023-02-15
熒光顯微鏡主要應用在生物領域及醫學研究中,能得到細胞或組織內部微細結構的熒光圖像,在亞細胞水平上觀察諸如Ca2+、PH值,膜電位等生理信號及細胞形態的變化,是形態學,分子生物學,神經科學,藥理學,遺傳學等領域中新一代強有力的研究工具。以共聚焦技術為原理的共聚焦顯微鏡,是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。材料科學的目標是研究材料表面結構對于其表面特性的影響。因此,高分辨率分析表面形貌對確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學性能及表面質量等相關參數具有重要意義。共...
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影像測量設備都有什么?有哪些影像儀器?
2023-02-15
影像測量儀器是廣泛應用于機械、電子、儀表的儀器。主要由機械主體、標尺系統、影像探測系統、驅動控制系統和測量軟件等與高精密工作臺結構組成的光電測量儀器。一般分為三大類:手動影像儀、自動影像儀和閃測影像儀。測量元素主要有:長度、寬度、高度、孔距、間距、厚度、圓弧、直徑、半徑、槽、角度、R角等。1、手動影像儀手動影像儀3軸采用手動驅動的方式,測量軟件為手動取點。是利用變焦物鏡對被測物體進行放大,經過CCD工業攝像裝置將圖像輸入電腦,放大后的被測物體影像傳輸到測量軟件,用以進行非接觸...
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沒想到一鍵影像儀擁有如此之多的特點
2023-02-14
一鍵影像儀是一種新型的影像測量技術。它和傳統的二次元影像測量儀不同的是它不再需要光柵尺位移傳感器作為精度標,也不經過大焦距的鏡頭經過放大產品影像來保障測量精度。一鍵影像儀通過一個大視角大景深的遠心鏡頭,將產品輪廓影像縮小數倍或數十倍后傳遞至幾百萬像素高分辨率CCD相機上做數字化處理,再由有著強大計算能力的后臺繪圖測量軟件完成按照預先編程指令快速抓取產品輪廓圖,最后和以高像素相機微小像素點形成的標尺進行對比后計算出產品尺寸,同時完成對尺寸公差的評價。一鍵影像儀采用雙遠心高分辨率...
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激光共聚焦顯微鏡原理及應用
2023-02-08
共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術,它通過數碼相機針孔的高強度激光來實現數字成像,具有很強的縱向深度的分辨能力。共聚焦顯微鏡成像原理共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個小孔,其中一個放在光源前面,另一個放在探測器前面,如圖所示。共焦顯微鏡光路示意圖得到的圖像是來自一個焦平面的光通過針孔數碼相機聚焦拍攝,通過所累積的不同焦平面的圖像序列,使用軟件編譯完整的3d圖像。共焦顯微鏡系統所展現的放大圖像細節要高于常規的光學顯微鏡。傳統光學顯微鏡上常配備靈敏度較低的CC...
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激光干涉儀原理特點
2023-01-16
一、激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。二、激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。三、位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量...